學研聯合計畫：離子束應用於奈米電子元件高介電層及金屬閘之分析與改質研究計畫 - 國立清華大學工程與系統科學系
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國立清華大學工程與系統科學系
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學研聯合計畫：離子束應用於奈米電子元件高介電層及金屬閘之分析與改質研究計畫

主持人：張廖貴術
共同主持人：
執行期間：98.06.01～99.05.31
委託單位：經濟部技術處

委託單位: 經濟部技術處
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