行政院原子能委員會(以下簡稱原能會)為鼓勵國內相關從業人員或團體，有效提升原子能科技應用之安全性，特整合各個獎項成立「原子能安全績優獎」，並從93年起開始實施，作為獎勵從事原子能安全之規劃、執行、管理、研究及推廣有具體成效，且對落實國內原子能安全，有顯著貢獻之人員或團體。另原能會於97年修訂相關法規，「原子能安全績優獎」每二年辦理一次。