微系統製作實驗室 - 國立清華大學工程與系統科學系
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國立清華大學工程與系統科學系
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微系統製作實驗室

微系統製作實驗室

本實驗室將裝置50微米元件微影技術之設備，包括旋鍍機，曝光光源，超音波清洗，簡易電鍍設備，以供學生學習微影技術之原理及實驗。

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