財團法人國家實驗研究院國家晶片系統設計中心(新竹)提供產學界優惠價格之MEMS相關量測服務

包含微結構光學輪廓、尺寸、粗糙度量測分析，3D影像建置，
共平面與出平面振動量測(頻率、位移、影像)，雷射都卜勒量測(頻率、位移)，真空盒量測、桌上型SEM拍攝、奈米壓痕測試等。

詳細介紹與預約量測可進入以下網頁填選:
http://ebs.cic.org.tw/ebs/equiIntroduction/equiIntroductionAction_init.action

進入選單拉選->新竹->微機電量測->微機電系統量測。

以上機台的服務，產業界服務價格為1800/hr,為鼓勵學術界使用享有折扣優惠為144/hr。

若有進一步相關問題可請洽服務信箱 service@cic.narl.org.tw或各機台相關聯絡人員